UNIVEX 250
處理室尺寸	寬：270 毫米，深：370 毫米，高：400 毫米
熱蒸發(fā)器	多達(dá) 4 種材料
有機(jī)蒸發(fā)器	多達(dá) 4 種材料
電子束蒸發(fā)	多槽或單槽
濺射	向上或向下，2 x 2"
共沉積	蒸發(fā)和/或?yàn)R射
與真空進(jìn)樣室兼容	可選
水調(diào)溫室	可選
真空度	中真空 10-7 mbar
與潔凈室兼容	是